epitaxie (Marele dicționar de neologisme, 2000)
EPITAXÍE s. f. 1. proces fizico-chimic de creștere a unui strat monocristalin pe un suport de asemenea cristalin. 2. (electron.) metodă de dopaj care încorporează impuritățile pe un cristal de germaniu sau de siliciu. (< fr. épitaxie)